Оборудование
Заявка на сервисное обслуживание Личный кабинет
Сравнение
Корзина
  1. Технология
  2. Каталог
  3. Вакуумная техника
  4. Высоковакуумные насосы
  5. Турбомолекулярные насосы
  6. Высоковакуумный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401

Высоковакуумный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401

под заказ
Ключевые особенности
  • Производительность до 1280 л/с
  • Вакуум до 1х10-10 мбар
  • Безмасляная откачка
  • Магнитный подвес
  • Коэффициент сжатия по N2 108
  • Установка в любом положении
Характеристики
Входной фланец
Форвакуумный фланец
Скорость откачки
N2 л/с
Ar л/с
He л/с
H2 л/с
Коэффициент сжатия
N2
Ar
He
H2
Предельное давление (CF), мбар
Предельное давление (ISO), мбар
Питание, В
Номинальная частота вращения, об/мин
Масса насоса, кг
Допуск по магнитному полю, мТл
Время разгона, мин
Время остановки, мин
Охлаждение
Расход воды, л/мин
Контроллер
Интерфейсы

Высоковакуумный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401

ISO200/CF200
KF40
1280
1100
880
560
108
108
104
103
1х10-10
2х10-9
220
30 000
51
3
6
8
Водяное
2
Встроенный CXFD-1001
RS232/485, I/O

Описание

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе - это насос, чья турбина поддерживается и приводится в движение за счет магнитного поля. Данное оборудование было разработано компанией KYKY для удовлетворения прикладных требований в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов, где требуется достижение вакуума повышенной производительностью от 1400 до 3000 л / с.

Принцип работы насосной системы основан на электромагнитном подшипнике представляющий собой 5-осевую магнитную систему левитации. Данная конструкция может иметь систему датчиков отслеживания положения подвеса и мгновенную регулировку с помощью технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, что гарантирует значительные преимущества в поддержании стабильной левитации и надежной работы.

Применения

НАУКА

ускорители частиц, физика высоких энергий, вакуумные лаборатории,масс-спектрометрия

ПРИБОРОСТРОЕНИЕ

установки нанесения тонких пленок, установки нанесения износостойких покрытий

ПРОМЫШЛЕННОСТЬ

производство полупроводников, авиакосмическая промышленность

Ответим на вопросы

Мы поможем вам подобрать и купить необходимое оборудование для лаборатории. Компания «МИЛЛАБ» работает с производителями напрямую, потому у нас объективные цены на всю продукцию и устройства!

На сайте используются cookie-файлы, которые помогают показывать Вам самую актуальную информацию. Продолжая пользоваться сайтом, Вы даете согласие на использование ваших Метаданных и cookie-файлов. Побробнее о правилах использования cookie.
Записаться в лабораторию
Запросить стоимость
Обратная связь
Рассчитать стоимость
Заказать звонок
Заявка на расчет
Мы будем информировать вас об интересных новостях
и приглашать на предстоящие выставки и семинары
Регулярность рассылки — не более 1 письма в неделю.
Личный кабинет
Забыли пароль?
Регистрация

* - Обязательные поля для заполнения