Оборудование
Заявка на сервисное обслуживание Личный кабинет Корзина
  1. Технология
  2. Каталог
  3. Вакуумная техника
  4. Высоковакуумные насосы
  5. Турбомолекулярные насосы
  6. Высоковакуумный турбомолекулярный химически стойкий насос на магнитном подвесе KYKY CXF-320/3001CS

Высоковакуумный турбомолекулярный химически стойкий насос на магнитном подвесе KYKY CXF-320/3001CS

под заказ
Ключевые особенности
  • Производительность до 3000 л/с
  • Вакуум до 10-9 мбар
  • Магнитный подвес
  • Химически стойкий
  • Безмасляная откачка
  • Коэффициент сжатия по N2 108
  • Установка в любом положении
Характеристики
Входной фланец
Форвакуумный фланец
Скорость откачки
N2 л/с
Ar л/с
He л/с
H2 л/с
Коэффициент сжатия
N2
Ar
He
H2
Предельное давление, мбар
Питание, В
Номинальная частота вращения, об/мин
Масса насоса, кг
Время разгона, мин
Охлаждение
Расход воды, л/мин
Контроллер
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса, м3 /час
Интерфейсы

Высоковакуумный турбомолекулярный химически стойкий насос на магнитном подвесе KYKY CXF-320/3001CS

ISO320
KF40
3000
2750
2300
1100
107
107
104
103
10-9
220
21 000
76
9
Водяное
2
Встроенный
108
RS232/485, I/O

Описание

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе - это насос, чья турбина поддерживается и приводится в движение за счет магнитного поля. Данное оборудование было разработано компанией KYKY для удовлетворения прикладных требований в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов, где требуется достижение вакуума повышенной производительностью от 1400 до 3000 л / с.

Принцип работы насосной системы основан на электромагнитном подшипнике представляющий собой 5-осевую магнитную систему левитации. Данная конструкция может иметь систему датчиков отслеживания положения подвеса и мгновенную регулировку с помощью технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, что гарантирует значительные преимущества в поддержании стабильной левитации и надежной работы.

В случае работы с химически активными веществами для данного типа насосов предусмотрено специальное покрытие из химически малоактивного металла – никеля. Что в свою очередь позволяет уверенно работать с относительно агрессивными газовыми средами, а также с незначительным радиационным фоном.

Применения

НАУКА

ускорители частиц, физика высоких энергий, вакуумные лаборатории,масс-спектрометрия

ПРИБОРОСТРОЕНИЕ

установки нанесения тонких пленок, установки нанесения износостойких покрытий

ПРОМЫШЛЕННОСТЬ

производство полупроводников, авиакосмическая промышленность

Комплектация

  • По запросу клиента
Ответим на вопросы

Мы поможем вам подобрать и купить необходимое оборудование для лаборатории. Компания «МИЛЛАБ» работает с производителями напрямую, потому у нас объективные цены на всю продукцию и устройства!

На сайте используются cookie-файлы, которые помогают показывать Вам самую актуальную информацию. Продолжая пользоваться сайтом, Вы даете согласие на использование ваших Метаданных и cookie-файлов. Побробнее о правилах использования cookie.
Запросить стоимость
Обратная связь
Рассчитать стоимость
Заказать звонок
Заявка на расчет
Мы будем информировать вас об интересных новостях
и приглашать на предстоящие выставки и семинары
Регулярность рассылки — не более 1 письма в неделю.
Личный кабинет
Забыли пароль?
Регистрация

* - Обязательные поля для заполнения