Ионные насосы

Сверхвысокий вакуум можно получать различными способами, однако технику, которая чувствительна к присутствию паров масел, необходимо подключать исключительно к безмасляному источнику вакуума. К насосам такого типа относится целый класс сорбционных насосов, которые бывают следующих видов:

• Испарительные геттерные насосы — не относятся к ионным, но имеют схожий принцип действия: вакуум достигается за счет хемосорбции активных частиц газа парами геттера. Позволяют создать вакуум от 10 до 10^-11 Па. Основная сфера применения: откачка химически активных газов: N₂, O₂, CO, CO₂, пары воды.
• Испарительные ионно-геттерные насосы — в оборудовании этого типа происходит ионизация атомов или молекул газа с последующим их ускорением в электрическом поле. Ионизированные молекулы на большой скорости сталкиваются с пленкой геттера и внедряются в её структуру. Обеспечивают вакуум от 10 до 10^-11 Па. Подходят для откачки активных газов и их смесей с инертными.
• В магнитных электроразрядных насосах (магниторазрядных) ионизация газа происходит за счет электрического разряда. При этом часть газа сорбируется распыленными парами геттера, а часть оседает на катоде и его осевших на поверхности камеры в виде пленок частицах. Таким образом, принцип действия магниторазрядного насоса (ионного насоса) объединяет оба механизма поглощения откачиваемого газа, применяемых в первых двух типах оборудования.

Преимущества установок

Явное преимущество магниторазрядных ионных насосов — это высокая производительность при откачке адсорбирующихся газов (H₂, CH₄, NH₃, углеводороды). Различные модификации катода позволяют повысить эффективность агрегатов по отношению к инертным газам, как и создание комбинированных решений с установками других типов.

Еще одно достоинство конструкции — отсутствие движущихся частей, а значит и вибраций. Кроме того, в системах не используются рабочие жидкости и смазочные вещества.

Применение

Ионные насосы применяются в науке и промышленности, например:

• в электронных микроскопах;
• ускорителях частиц;
• масс-спектрометрах;
• лазерных установках.

В компании «МИЛЛАБ» представлен большой выбор ионных насосов Agilent. Всё оборудование сертифицировано, поставляется с официальной гарантией производителя.